Calor de alta potência para indústria de semicondutores

Lâmpadas halógenas infravermelho Philips

Aquecimento infravermelho
na Indústria

  • Epitaxy
  • CVD (Depósito de Vapor Químico)
  • RTP (Rápido processo térmico)
  • Fortalecimento do implante de Ion
  • Gravuras
  • Remoção de faixas

Combinando alta potência e eficiência

O aquecimento é um processo crucial na fabricação de dispositivos semicondutores. Oferecemos uma ampla gama de lâmpadas halógenas infravermelho como fontes de calor para utilização nos principais passos da produção de bolachas de silício. As Lâmpadas infravermelho Philips podem responder a demanda exigente da nova geração de processos utilizados na produção, graças à sua qualidade e vida longa útil.

A transferência de calor é operada por radiação direta a partir da lâmpada para a bolacha. Uma vez que tanto o tubo da lâmpada como a  câmara são de quartzo, são transparentes para as ondas curtas do infravermelho, não há perdas de energia a partir do filamento da lâmpada para a bolacha.

As lâmpadas são de halógeno assim não há nenhum tipo de escurecimento do bulbo, como conseqüência não há depreciação das emissões de infravermelho durante todo o período de vida da lâmpada. Em combinação com refletores, a radiação infravermelho é distribuída uniformemente para a bolacha.

A capacidade de variar facilmente a intensidade do calor fornece valiosa flexibilidade operacional. A temperatura das bolachas pode ser modulada de forma rigorosa e exigente, permitem alta demanda dos processos de design . Rápida resposta térmica: a plena potência emitida é atingida em milésimo de segundo. A potência da lâmpada é totalmente controlável; a potência radiante pode ser ajustada instantaneamente de 0 a 100%.

Lâmpadas para controle preciso no aquecimento de semicondutores
CaracterísticasBenefícios
Calor instantâneoCompleto poder de emissão em milésimo de segundo depois de ligada
Totalmente controlávelA temperatura da bolacha de silício pode ser modulada de forma precisa em todo o seu tamanho
Tecnologia de halógeneaNão há escurecimento do bulbo infravermelho, não ocorrendo a perda de emissão durante o tempo de vida da lâmpada.

Lâmpadas halógenas infravermelho Philips Lâmpadas halógenas infravermelho Philips
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Lâmpadas halógenas infravermelho Philips

 

Lâmpadas halógenas infravermelho Philips

TypeWatsVolts Fig.Cap/ BaseComp. total (mm) Área de aquec. (mm) Diâmetro (mm) AcabamentoPosição de aquecimentoTempo aproximado de vidaTemp. de CorCabo (mm)Conexão do Cabo12ncEOCNum. Pod. USA
(W)(V) CWD (h)(K)
13941Z
1.500
2352SK1535227411,0ClaroHorizontal1.00029001200Encaixe9245.268.43916871150049600325-
13136V4.6004001V30324212,0ClaroHorizontal1.000290035Anel9238.508.49124871150049156525256545
13170V6.0004801V35028412,0ClaroHorizontal1.000290035Anel9245.298.51724871150049161925291146
13138V6.0004801V30323612,0ClaroHorizontal1.000300035Anel9245.340.51724871150049826725291237
14131V6.0004801V35028411,0ClaroHorizontal1.000300035Anel9245.514.51724871150005581125-
14118V6.8504801V30324212,0ClaroHorizontal1.000300035Anel9245.412.51724871150051863725291708
14166V60004801V35028412,0ClaroHorizontal1.000300035Anel924568951724--
14167V60004801V30323611,0ClaroUniversal1.000300035Anel924569751724--
14139750120--113,77213,0ClaroHorizontal1.0003000150Anel9245.539.36324871150018495525-
6990P metal10001203G951046019,0ClaroUniversal1.0003000--9245.208.36328871150049850225291070
14302P ceramic10001203G951046019,0ClaroUniversal1.0003000--9245.382.36328871150049866325-